Оптимизация осаждения тонких пленок с помощью распылительного напылителя PELCO SC7

В научных исследованиях достижение идеальной однородности и толщины поверхностных покрытий часто является проблемой.но из недостаточного понимания операционных протоколов и оптимизации параметровВ данном руководстве приведены подробные инструкции по эксплуатации плиткового покрытия PELCO SC-7, что позволяет исследователям точно контролировать отложение тонкой пленки и повышать воспроизводимость эксперимента.

PELCO SC-7 - это широко используемая в исследовательских лабораториях система покрытия плиткой, предназначенная для отложения тонких пленок на поверхности образцов.Этот удобный и стабильный инструмент вмещает различные материалы, включая металлы и сплавыСтрогое соблюдение эксплуатационных правил обеспечивает как точность результатов, так и долгосрочную производительность оборудования.

Правильное загрузка образцов оказывает критическое влияние на качество покрытия и безопасность оборудования:

• Используйте перчатки или пинцет, чтобы предотвратить загрязнение образца
• Проверить и очистить пробную стадию, если необходимо, безносочными салфетками

1. Полностью поднять верхнюю крышку покрытия
2. Разместите образцы на сцене (для облегчения доступа можно снять стеклянную крышку)
3. Безопасно закройте и закройте крышку

• Избегайте непосредственного контакта рук с поверхностями образцов
• Обеспечить стабильное размещение образца для предотвращения движения во время вакуума
• Настройка высоты ступени или замена ступени для сверхразмерных образцов

Для чистоты и однородности пленки необходимы правильные вакуумные условия:

• Минимальная продолжительность насоса: 5 минут или до P ≤ 0,01 mbar
• Непрерывно контролировать показания вакууммера
• Проверьте на наличие утечек, если целевой вакуум не достигнут

Скорость потока аргона существенно влияет на скорость осаждения и качество пленки:

1. Открытый аргонный цилиндр главного клапана
2. Установите давление регулятора на 5 пси.
3. Медленно открывайте клапан иглы приблизительно на 1⁄4 оборота

Идеально подходит для обработки партий, режим AUTO упрощает работу:

1. Выберите режим AUTO (настройка по умолчанию)
2. Нажмите CYCLE, когда вакуум достигает P ≤ 0,01 mbar

Система автоматически выполняет вакуумный насос, очистку от аргона и распыливание.

Обеспечивает гибкость для специализированных приложений:

1. Выберите режим MANUAL
2. Нажмите ФЛАСШ, когда вакуум достигает P ≤ 0,01 mbar
3. Через 3-5 секунд нажмите LEAK
4. Повторить последовательность введения газа
5. Запустить распыливание кнопкой START

Правильные процедуры обеспечивают долговечность оборудования:

1. Отключение главного выключателя (автоматическая камера вентиляции)
2. Открыть камеру и снять образцы
3. Чистая стеклянная крышка с метанолом в дымовой капсуле
4. Закрыть поставку аргона

Толщина пленки зависит от нескольких факторов:

• Ток распылителя:Более высокие течения увеличивают скорость осаждения
• Давление газа:Влияет на плотность плазмы и скорость отложения
• Рабочее расстояние:Более короткие расстояния дают более высокие показатели, но могут поставить под угрозу однородность
• Время нанесения покрытия:Прямо пропорционально толщине пленки

Стандартные настройки для 20 нм Au/Pd пленок:

• Ток распылителя: 40 мА
• Время покрытия: 15 секунд
• Давление утечки аргона: 0,08 mbar
• Рабочее расстояние: 33-40 мм

Настраивайте настройки по мере необходимости:

• Текущая корректировка:Удерживать SET mA при использовании клавиш со стрелками (10-40 мА)
• Настройка времени:В режиме AUTO, нажать на PAUSE/TEST при настройке с помощью клавиш стрелки

Общие вопросы и решения:

• Сбой вакуумного насоса:Проверьте подключения к электричеству, положение переключателя и уровень масла
• Плохой вакуум:Проверяйте уплотнения, работу насосов и газовые соединения
• Проблемы с питанием:Проверьте соединения, положение переключателя и контакт цели
• Неравномерные покрытия:Регулировать рабочее расстояние, давление газа, или проверка вращения ступени

• Всегда носите защитные очки и перчатки.
• Избегайте контакта с горячими компонентами
• Проводить очистку только в дымовых капот
• Регулярно проверяйте средства безопасности оборудования

Пелко СК-7 предлагает исследователям мощные возможности отложения тонкой пленки.Ученые могут достичь последовательныхПо мере того, как технология распыливания продолжает развиваться, ее роль в научных открытиях будет только расширяться.Сделать операционное мастерство все более ценным.