PELCO SC7 스푸터 코터로 얇은 필름 퇴적을 최적화

과학적 연구에서는 표면 코팅의 이상적인 균일성과 두께를 달성하는 것이 종종 도전이 됩니다.하지만 운영 프로토콜과 매개 변수 최적화에 대한 이해가 부족해서이 가이드는 PELCO SC-7 스프터 코터 작동에 대한 자세한 지침을 제공하여 연구자들이 얇은 필름 퇴적을 정확하게 제어하고 실험 재현성을 향상시킬 수 있습니다.

PELCO SC-7는 연구 실험실에서 널리 사용되는 스프터 코팅 시스템으로, 표본 표면에 얇은 필름을 저장하도록 설계되었습니다.이 사용자 친화적이고 안정적인 도구는 금속과 합금 등 다양한 재료를 수용운영 지침을 엄격히 준수하면 결과 정확성과 장기 장비 성능이 보장됩니다.

적절한 샘플 로딩은 코팅 품질과 장비 안전에 중대한 영향을 미칩니다.

• 표본 오염을 방지하기 위해 장갑을 착용하거나 칩을 사용하십시오.
• 필요한 경우 잎 없는 지느러미로 샘플 스테이지를 검사하고 청소합니다.

1. 완전히 코터의 상단 덮개를 들어
2. 표본을 무대에 올려 놓으세요 (가장 쉽게 접근하기 위해 유리 덮개를 제거할 수 있습니다)
3. 안전하게 닫고 뚜?? 을 잠그십시오.

• 표본 표면과 직접적인 손 접촉을 피합니다.
• 진공 상태에서 움직임을 방지하기 위해 안정적인 샘플 배치
• 장 높이를 조정하거나 과대 샘플을 위한 장을 교체

적절한 진공 조건은 필름 순수성과 균일성을 위해 필수적입니다.

• 최소 펌프 소요시간: 5분 또는 P ≤ 0.01 mbar까지
• 진공 측정기 판도를 지속적으로 모니터링합니다.
• 목표 진공이 달성되지 않으면 누출을 확인

아르곤 흐름 속도는 퇴적 속도와 필름 품질에 크게 영향을 미칩니다.

1. 열린 아르곤 실린더 주 밸브
2. 5psi로 조절 압력을 설정
3. 약 1⁄4 회로로 느리게 바늘 밸브를 열어

대량 처리에 이상적입니다. AUTO 모드는 조작을 단순화합니다.

1. AUTO 모드 (예정 설정) 를 선택
2. 진공이 P ≤ 0.01 mbar에 도달하면 CYCLE를 누르십시오.

이 시스템은 자동으로 진공 펌핑, 아르곤 정화, 그리고 시간적 스프터링을 수행합니다.

특화된 응용 프로그램에 대한 유연성을 제공합니다.

1. 수동 모드를 선택
2. 진공이 P ≤ 0.01 mbar에 도달하면 FLUSH를 누르십시오.
3. 3~5초가 지나면 누르세요
4. 가스 도입 순서 반복
5. START 버튼으로 스프터링 시작

적절한 절차는 장비의 수명을 보장합니다.

1. 주식 스위치를 끄는 (자동적으로 환기 챔버)
2. 방을 열고 샘플을 꺼내
3. 펌프에 메탄올을 넣은 깨끗한 유리 덮개
4. 아르곤 공급을 폐쇄

필름 두께는 여러 가지 요인에 달려 있습니다.

• 스프터 전류:더 높은 전류가 퇴적율을 증가시킵니다.
• 가스 압력:플라스마 밀도와 퇴적율에 영향을 줍니다.
• 작업 거리:더 짧은 거리는 더 높은 비율을 가져오지만 균일성을 손상시킬 수 있습니다.
• 코팅 시간:필름 두께에 비례한다

20nm Au/Pd 필름의 표준 설정:

• 스프터 전류: 40mA
• 코팅 시간: 15초
• 아르곤 누출 압력: 0.08 mbar
• 작업 거리: 33-40mm

필요에 따라 설정을 사용자 정의합니다:

• 현재 조정:화살표 키를 사용할 때 SET mA를 유지하십시오 (10-40 mA 증가)
• 시간 조정:AUTO 모드에서, 화살표 키로 조정하는 동안 PAUSE/TEST를 유지

일반적인 문제와 해결책:

• 진공 펌프 고장:전원 연결, 스위치 위치 및 오일 수준을 확인
• 비공소 상태가 안좋아요밀봉, 펌프 성능 및 가스 연결을 검사
• 스프터 전력 문제:연결 확인, 스위치 위치, 목표 접촉
• 비일관성 코팅:작업 거리, 가스 압력, 또는 체크 스테이지 회전을 조정

• 항상 보호 안경과 장갑을 착용하십시오.
• 뜨거운 부품과의 접촉을 피하십시오.
• 청소를 하려면 피스카우트만 사용해야 합니다.
• 장비 안전 장치 를 정기적으로 검사 한다

PELCO SC-7 스프터 코터는 연구자들에게 강력한 얇은 필름 퇴적 능력을 제공합니다.과학자들은 일관된다양한 연구용 고품질의 코팅입니다. 스프터링 기술이 계속 발전함에 따라 과학적 발견에 대한 역할은 확장 될 것입니다.운영 실력을 더욱 가치있게 만드는 것.