Optimalisatie van dunne film afzetting met PELCO SC7 Sputter Coater

In het wetenschappelijk onderzoek is het vaak een uitdaging om een ideale uniformiteit en dikte van de oppervlaktecoatingen te bereiken.maar van onvoldoende begrip van operationele protocollen en parameter optimalisatieDeze handleiding bevat gedetailleerde instructies voor het gebruik van de PELCO SC-7 sputtercoater, waardoor onderzoekers de dunne filmdepositie nauwkeurig kunnen controleren en de experimentele reproduceerbaarheid kunnen verbeteren.

De PELCO SC-7 is een in onderzoekslaboratoria veelgebruikt sputtercoating systeem, ontworpen voor de afzetting van dunne films op monsteroppervlakken.Dit gebruiksvriendelijke en stabiele instrument is geschikt voor verschillende materialen, waaronder metalen en legeringenDe strikte naleving van de operationele richtlijnen zorgt voor zowel de nauwkeurigheid van de resultaten als de prestaties van de apparatuur op lange termijn.

Een goede lading van monsters heeft een cruciale invloed op de kwaliteit van de coating en de veiligheid van de apparatuur:

• Draag handschoenen of gebruik een pincet om besmetting van monsters te voorkomen
• Controleer en reinig indien nodig de proefstap met pluisvrije doekjes

1. Volledig opheffen van de bovenkop van de coater
2. Plaats de monsters op het podium (de glazen dekking kan worden verwijderd om de toegang te vergemakkelijken)
3. Goed sluiten en vergrendelen van het deksel

• Vermijd direct contact met de oppervlakken van de monsters
• Zorg voor een stabiele plaatsing van het monster om beweging tijdens het vacuüm te voorkomen
• Regelen van de verhooghoogte of vervangen van de verhoog voor overgrote monsters

De juiste vacuümomstandigheden zijn essentieel voor de zuiverheid en uniformiteit van de film:

• Minimale pompduur: 5 minuten of tot P ≤ 0,01 mbar
• Controleer continu de metingen van de vacuümmeter
• Controleer of er lekken zijn als het doel vacuüm niet wordt bereikt

De doorstroming van argon heeft een aanzienlijke invloed op de afzetting en de filmkwaliteit:

1. Open argoncilinder hoofdklep
2. Zet de druk van de regulator op 5 psi.
3. Langzaam open naaldklep ongeveer 1⁄4 draai

Ideaal voor batchverwerking, de AUTO-modus vereenvoudigt de bediening:

1. Selecteer AUTO-modus (standaardinstelling)
2. Druk op CYCLE wanneer het vacuüm P ≤ 0,01 mbar bereikt

Het systeem voert automatisch vacuümpomping uit, argonreiniging en getimed sputtering.

Biedt flexibiliteit voor gespecialiseerde toepassingen:

1. Selecteer handmatige modus
2. Druk op FLUSH wanneer P ≤ 0,01 mbar wordt bereikt
3. Druk na 3-5 seconden op LEAK
4. Herhaling van de gasinvoervolgorde
5. Initieer sputtering met START knop

De juiste procedures zorgen voor een lange levensduur van de apparatuur:

1. Stroom uit de hoofdschakelaar (automatische ventilatie van de kamer)
2. Open de kamer en verwijder de monsters
3. Schoon glazen deksel met methanol in de afzuigkap
4. Sluit de argontoevoer

De filmdikte is afhankelijk van meerdere factoren:

• Sputterstroom:Hogere stromen verhogen de afzetting
• Gasdruk:Beïnvloed de plasmadensiteit en de afzetting
• Werkafstand:Kortere afstanden leveren hogere tarieven op, maar kunnen de uniformiteit in gevaar brengen
• Laatstijden:Direct evenredig met de filmdikte

Standaardinstellingen voor 20 nm Au/Pd-films:

• Sputterstroom: 40 mA
• Beschermingstijd: 15 sec.
• Argonlekkagedruk: 0,08 mbar
• Werkafstand: 33-40 mm

Aanpassen van de instellingen naar behoefte:

• Huidige aanpassing:Houd SET mA ingedrukt met pijltjes (10-40 mA inkrementen)
• Tijd aanpassing:In de AUTO-modus, houd PAUSE/TEST ingedrukt tijdens het instellen met pijltoetsen

Gemeenschappelijke problemen en oplossingen:

• Storing van de vacuümpomp:Controleer de stroomverbindingen, de schakelaarpositie en het olieniveau
• Slecht vacuüm:Controleer de afdichtingen, de prestaties van de pomp en de gasverbindingen
• Problemen met het sputtervermogen:Verifieer verbindingen, schakelpositie en doelcontact
• niet-uniforme coatings:Aanpassen van de werksafstand, gasdruk, of controle fase rotatie

• Draag altijd beschermende bril en handschoenen
• Vermijd contact met hete onderdelen
• Alleen in afzuigkappen reinigen
• Regelmatig de veiligheidselementen van de apparatuur controleren

De PELCO SC-7 sputtercoater biedt onderzoekers krachtige dunne film afzetting mogelijkheden.Wetenschappers kunnen consistentAls de sputteringstechnologie verder vooruitgaat, zal haar rol in wetenschappelijke ontdekkingen alleen maar groter worden.Het maken van operationele beheersing steeds waardevoller.