পেলকো এসসি৭ স্পটার কোটারের সাহায্যে পাতলা ফিল্ম অবসারণের অপ্টিমাইজেশান

বৈজ্ঞানিক গবেষণায়, পৃষ্ঠের লেপগুলির আদর্শ অভিন্নতা এবং বেধ অর্জন করা প্রায়শই চ্যালেঞ্জিং হয়ে ওঠে। এই অসুবিধা প্রায়শই সরঞ্জামের সীমাবদ্ধতার কারণে আসে না,কিন্তু অপারেশনাল প্রোটোকল এবং পরামিতি অপ্টিমাইজেশান অপর্যাপ্ত বোঝার থেকেএই গাইড পেলকো এসসি-৭ স্পটার লেটার ব্যবহারের জন্য বিস্তারিত নির্দেশাবলী প্রদান করে, যা গবেষকদের সূক্ষ্ম ফিল্ম জমাট বাঁধতে এবং পরীক্ষামূলক পুনরুত্পাদনযোগ্যতা উন্নত করতে সক্ষম করে।

পেলকো এসসি-৭ হল গবেষণাগারগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত একটি স্পটার লেপ সিস্টেম, যা নমুনা পৃষ্ঠের উপর পাতলা ফিল্ম জমা দেওয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।এই ব্যবহারকারী বান্ধব এবং স্থিতিশীল যন্ত্র ধাতু এবং খাদ সহ বিভিন্ন উপকরণ accommodatesঅপারেশনাল নির্দেশিকা কঠোরভাবে মেনে চলা ফলাফলের নির্ভুলতা এবং দীর্ঘমেয়াদী সরঞ্জাম কর্মক্ষমতা উভয়ই নিশ্চিত করে।

সঠিক নমুনা লোডিং লেপ মান এবং সরঞ্জাম নিরাপত্তা সমালোচনামূলকভাবে প্রভাবিত করেঃ

• নমুনা দূষণ রোধ করতে গ্লাভস বা পিনচেজ ব্যবহার করুন
• যদি প্রয়োজন হয় তবে নমুনা স্টেজটি পরা-মুক্ত টয়লেট দিয়ে পরীক্ষা করুন এবং পরিষ্কার করুন

1. সম্পূর্ণরূপে লেটার উপরের কভার উত্তোলন
2. মঞ্চে নমুনা স্থাপন করুন (গ্লাস কভারটি সহজেই অ্যাক্সেস করার জন্য সরানো যেতে পারে)
3. সুরক্ষিতভাবে বন্ধ করুন এবং কভারটি লক করুন

• নমুনার পৃষ্ঠের সাথে সরাসরি হাতের যোগাযোগ এড়িয়ে চলুন
• ভ্যাকুয়াম চলাকালীন গতিবিধি রোধ করার জন্য নমুনা স্থিতিশীল স্থাপন নিশ্চিত করুন
• স্টেজ উচ্চতা সামঞ্জস্য বা oversized নমুনা জন্য স্টেজ প্রতিস্থাপন

ফিল্মের বিশুদ্ধতা এবং অভিন্নতার জন্য সঠিক ভ্যাকুয়ামের শর্ত অপরিহার্যঃ

• সর্বনিম্ন পাম্পিং সময়কালঃ 5 মিনিট বা P ≤ 0.01 mbar পর্যন্ত
• ভ্যাকুয়াম গেজের রিডিং ক্রমাগত পর্যবেক্ষণ করুন
• লক্ষ্য ভ্যাকুয়াম অর্জন করা হয় না যদি ফুটো জন্য চেক করুন

আর্গন প্রবাহের হার উল্লেখযোগ্যভাবে জমায়েতের হার এবং ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করেঃ

1. ওপেন আর্গন সিলিন্ডার প্রধান ভালভ
2. রেগুলেটর চাপ 5 পিএসআই সেট
3. প্রায় 1⁄4 ঘূর্ণন করে ধীরে ধীরে সূঁচের ভালভ খুলুন

ব্যাচ প্রসেসিংয়ের জন্য আদর্শ, অটো মোড অপারেশনকে সহজ করে তোলেঃ

1. অটো মোড নির্বাচন করুন (ডিফল্ট সেটিং)
2. ভ্যাকুয়াম P ≤ 0.01 mbar এ পৌঁছলে CYCLE চাপুন

সিস্টেমটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে ভ্যাকুয়াম পাম্পিং, আর্গন শুদ্ধকরণ, এবং টাইমড স্পটারিং সম্পাদন করে।

বিশেষায়িত অ্যাপ্লিকেশনের জন্য নমনীয়তা প্রদান করেঃ

1. ম্যানুয়াল মোড নির্বাচন করুন
2. ভ্যাকুয়াম P ≤ 0.01 mbar এ পৌঁছলে FLUSH চাপুন
3. ৩-৫ সেকেন্ড পরে, LEAK চাপুন
4. গ্যাস প্রবর্তনের ক্রম পুনরাবৃত্তি করুন
5. স্টার্ট বোতাম দিয়ে স্পটারিং শুরু করুন

যথোপযুক্ত পদ্ধতিগুলি সরঞ্জামগুলির দীর্ঘায়ু নিশ্চিত করেঃ

1. প্রধান সুইচ বন্ধ করুন (স্বয়ংক্রিয়ভাবে ভেন্টেশন চেম্বার)
2. চেম্বার খুলুন এবং নমুনা অপসারণ
3. ধোঁয়াশা হাউসে মেথানল সহ পরিষ্কার গ্লাস কভার
4. আর্গন সরবরাহ বন্ধ করুন

ফিল্মের বেধ একাধিক কারণের উপর নির্ভর করেঃ

• স্পটার বর্তমানঃউচ্চতর স্রোত জমাট বাঁধার হার বৃদ্ধি করে
• গ্যাসের চাপঃপ্লাজমা ঘনত্ব এবং জমায়েতের হারকে প্রভাবিত করে
• কাজের দূরত্বঃসংক্ষিপ্ত দূরত্ব উচ্চতর হার দেয় কিন্তু অভিন্নতা হুমকি দিতে পারে
• লেপ দেওয়ার সময়ঃফিল্মের বেধের সাথে সরাসরি অনুপাত

20nm Au/Pd ফিল্মের জন্য স্ট্যান্ডার্ড সেটিংসঃ

• স্পটার বর্তমানঃ ৪০ এমএ
• লেপ সময়ঃ 15 সেকেন্ড
• আর্গন ফুটো চাপঃ ০.০৮ এমবিআর
• কাজের দূরত্বঃ ৩৩-৪০ মিমি

প্রয়োজন অনুযায়ী সেটিংস কাস্টমাইজ করুনঃ

• বর্তমান সমন্বয়ঃস্রোত কী ব্যবহার করার সময় SET mA ধরে রাখুন (10-40 mA বৃদ্ধি)
• সময় সমন্বয়ঃঅটো মোডে, তীর কী দিয়ে সামঞ্জস্য করার সময় বিরতি / পরীক্ষা ধরে রাখুন

সাধারণ সমস্যা এবং সমাধানঃ

• ভ্যাকুয়াম পাম্পের ত্রুটিঃপাওয়ার সংযোগ, সুইচ অবস্থান, এবং তেল স্তর পরীক্ষা করুন
• খারাপ ভ্যাকুয়ামঃসিল, পাম্পের কার্যকারিতা এবং গ্যাস সংযোগ পরীক্ষা করুন
• স্পটার পাওয়ার সমস্যাঃসংযোগ, সুইচ অবস্থান, এবং লক্ষ্য যোগাযোগ যাচাই করুন
• অপরিমিত লেপ:কাজ দূরত্ব, গ্যাস চাপ, বা চেক পর্যায় ঘূর্ণন সামঞ্জস্য

• সর্বদা প্রতিরক্ষামূলক চশমা এবং গ্লাভস পরুন
• গরম উপাদানগুলির সাথে যোগাযোগ এড়িয়ে চলুন
• শুধুমাত্র ধোঁয়াশা ক্যাপগুলিতে পরিষ্কার করুন
• যন্ত্রপাতি নিরাপত্তা বৈশিষ্ট্য নিয়মিত পরিদর্শন করুন

পেলকো এসসি-৭ স্পটার কোটার গবেষকদের শক্তিশালী পাতলা ফিল্ম জমা দেওয়ার ক্ষমতা প্রদান করে। এই নির্দেশিকায় বর্ণিত সঠিক অপারেশন এবং পরামিতি নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে,বিজ্ঞানীরা ধারাবাহিক অর্জন করতে পারেন, বিভিন্ন গবেষণার জন্য উচ্চমানের লেপ। যেমন স্পটারিং প্রযুক্তির অগ্রগতি অব্যাহত, বৈজ্ঞানিক আবিষ্কারের মধ্যে তার ভূমিকা শুধুমাত্র প্রসারিত হবে,অপারেশনাল মাস্টারিংকে ক্রমবর্ধমান মূল্যবান করে তোলা.